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漆膜測(cè)厚儀-硅片清洗機(jī)-鋼板測(cè)厚儀-電火花檢漏儀-山東濟(jì)寧魯超超聲設(shè)備公司歡迎您的訪問(wèn)!

魯超超聲設(shè)備公司專業(yè)生產(chǎn)硅片清洗機(jī),鋼板測(cè)厚儀,漆膜測(cè)厚儀,電火花檢漏儀,鋼板測(cè)厚儀,硅片甩干機(jī)

專業(yè)生產(chǎn)超聲設(shè)備

專業(yè)研發(fā)制造超聲清洗設(shè)備和無(wú)損檢測(cè)儀器

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半導(dǎo)體電子設(shè)備

濕法腐蝕清洗系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:111次

濕法腐蝕清洗系統(tǒng)(圖1)

 

 

主要特點(diǎn):

成熟的模塊化工藝組合

可面向用戶工藝需要,定制化設(shè)計(jì)

已應(yīng)用于20nm級(jí)別IC工藝線

針對(duì)LED生產(chǎn)線,提高整體解決方案

全自動(dòng)清洗/手動(dòng)清洗可選

整機(jī)防漏液設(shè)計(jì)

廣泛應(yīng)用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導(dǎo)體材料等行業(yè)

標(biāo)準(zhǔn)配置:

高純進(jìn)口板材

高結(jié)晶工藝管道

高潔凈氣動(dòng)閥門

防腐機(jī)械手

伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

人機(jī)對(duì)話界面,觸摸屏操作

標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊

SC-I溶液腐蝕槽

SC-II溶液腐蝕槽

SC-III溶液腐蝕槽

QDR槽

循環(huán)清洗槽

超聲/兆聲清洗槽

可選模塊:

鼓氮

水溶超聲/水浴兆聲槽

槽內(nèi)加熱/制冷循環(huán)

漏液檢測(cè)

水阻檢測(cè)

自動(dòng)供液系統(tǒng)

自動(dòng)配液系統(tǒng)

自動(dòng)滅火系統(tǒng)(有機(jī)清洗)

ESD功能(有機(jī)清洗)

MES接口(可選)

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